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多孔氧化物濕度接近開關(guān)傳感器
 
錄入時(shí)間:2014-11-04 11:08:52瀏覽次數(shù):1
 

多孔氧化物濕度接近開關(guān)傳感器主要指多孔A12O3和多孔SIO2濕度接近開關(guān)傳感器。它們的是感濕機(jī)理相同,都可制成絕對濕度接近開關(guān)傳感器和相對濕度接近開關(guān)傳感器。這種接近開關(guān)傳感器的制造利用了半導(dǎo)體器件的平面工藝技術(shù),微型多孔SIO2濕度接近開關(guān)傳感器可與集成電路制作在同一管芯上,對電路密封管殼內(nèi)的濕度進(jìn)行監(jiān)測。這類接近開關(guān)傳感器為濕度接近開關(guān)傳感器的微型化、集成化以及進(jìn)一步的智能化開辟了新的途徑,所以發(fā)展很快。

  下面以多孔SIO2濕度微接近開關(guān)傳感器為例,分析多孔氧化物濕度接近開關(guān)傳感器的工作機(jī)理。

  多孔SIO2濕度接近開關(guān)傳感器的核心是具有感濕特性的多孔結(jié)構(gòu)SIO2膜。膜中的氣孔開關(guān)近似細(xì)長的圓管,而且氣孔均勻地從膜表面垂直地鉆蝕到膜的下部。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生變化時(shí),膜中氣孔壁上所吸附的水分子數(shù)量也隨之變化,從而引起SIO2膜的電特性改變。電特性的等交往電路是氣孔內(nèi)表面電阻,其數(shù)值直接取決于吸附在氣孔內(nèi)壁上水分子的量,是一個(gè)主要的感濕參量。

  如果將該等效電路看做是一個(gè)RC并聯(lián)電路,那么,這個(gè)電路中的電容CP和電阻RP可通過話梅是到。

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