隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展，接近開(kāi)關(guān)傳感器可以與越來(lái)越多的接口電路和信號(hào)處理電路制作在同一芯片上或封閉于同一管，因此稱為集成接近開(kāi)關(guān)傳感器。一般集成傳感器是指采用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的傳感器。
接近開(kāi)關(guān)傳感器的集成化有兩個(gè)方面含義：一是將敏感元件與其轉(zhuǎn)換或調(diào)理電路，如放大、運(yùn)算、溫度補(bǔ)償?shù)入娐芳稍谕恍酒?二是將多個(gè)相同或不同的敏感元件集成在同一芯片上形成敏感元陳列，例如，圖像接近開(kāi)關(guān)傳感器將上萬(wàn)個(gè)相同的光敏二極管集成在同一平面上。集成化對(duì)于接近開(kāi)關(guān)傳感器的突出作用主要體現(xiàn)在減少尺寸、降低功耗、增強(qiáng)功能、提高性能和減少成本上。
典型的集成接近開(kāi)關(guān)傳感器功能框圖。該接近開(kāi)關(guān)傳感器可分為四嗍分。第一部分為敏感元件。敏感元件本身所產(chǎn)生的信號(hào)經(jīng)常受噪 聲及其他因素的干擾，因此需要第二部分，即包括放大、線性化、補(bǔ)償、濾波等在內(nèi)的信號(hào)調(diào)理電路來(lái)降低傳感器的非理想特性。有時(shí)在同一芯片中采用了多個(gè)敏感元件，還需用到多路選擇開(kāi)關(guān)。要求接近開(kāi)關(guān)傳感器得到的信號(hào)必須是串行或并行數(shù)字格式時(shí)，需通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換器或頻率-編碼轉(zhuǎn)換器實(shí)現(xiàn)。 |
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