制成陶瓷濕敏元件的金屬氧化物的結(jié)構單元可看做是金屬正離子與氧負離子，并在表面以正、負離子交布。由于它未被異性離子屏蔽，因此對電子電荷有不同的吸引力。水是有極性的分子，當它接觸元件表面時，由于水離解成H和OH離子，則產(chǎn)生化學吸附。
結(jié)果，H離子與氧化物表面的氧離子結(jié)合，OH離子則與其中的金屬離子結(jié)合。
隨著相對濕度增加，在表面OH上形成物理吸附的水分子層。由于化學吸附層中形成的局部電場，促進了物理吸附水的分解，水分解產(chǎn)生一個OH和一個水合氫離子H3O，即2H2O，其電荷輸送是通過一個質(zhì)子附載在水分子上形成水合氫離子。該水合氫離子會自動釋放出另一質(zhì)子給第二個水分子，該分子接收此質(zhì)子，同時釋放出第三個質(zhì)子，這樣周而進行下去。隨著水蒸氣壓力的增加，則形成多層水的吸附層，其表面將被水覆蓋，進一步促進上述質(zhì)子輪動反應，使其電導變化。 |
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